안녕하십니까.
Filtration & Separation 전문기업 (주)청류에프앤에스입니다.
사용처 : SKH
필터명 : Parker dh TETPOR AIR
납품일 : 2019. 4.
용 도 : Utility Air
당사는 H 반도체사에 공급할 Air필터의 파티클 제거 성능을 검사하였으며, 제로 파티클(Zero Particle)을 구현하였습니다.
질소를 이용하여 Particle Size별 검사를 진행하였으며 모두 제로 파티클(Zero Particle)로 확인이 되었습니다.
(하단사진참조)
Air의 품질이 중요한 반도체공정에 사용해야할 필터로 Parker사의 TETPOR Air를 적용하였습니다.
TETPOR AIR 필터 카트리지는 Absolute 등급으로 전자반도체 Application 뿐만 아니라 기체 내 박테리아, 바이러스, 박테리오파지 등의 제거효율이 높아 제약 Application에서도 사용이 가능한 우수한 제품입니다.
Polypropylene 전처리 레이어가 높은 유량과 낮은 차압을 제공하여 필터의 수명이 길어 경제적인 제품입니다. 미세분진은 반도체 클린룸의 운영에 커다란 영향을 미치기 때문에 제품의 질이나 수율을 높이기 위해서는 미세분진을 제거한 Air의 사용으로 청정 상태를 유지해야합니다.
당사는 많은 여과 정제설비 실적과 경험을 바탕으로 고객사의 운전 조건에 맞춰 최적의 여과 정제 서비스를 제공합니다.
모든 유체 여과에 관심이 있으신 분들은 저희 청류에프앤에스 홈페이지 또는 전화(02-893-4499)로 문의를 주시면 성심껏 대응해 드리겠습니다.
