* Single pass metals removal from PGMEA/PGME (30/70 Mixture)
▷ Resins – Acetone
▷ Solvents – DI Water
▷ Recirculation – IPA
▷ I Line Photoresists – Plating Solution
▷ G Line Photoresists – Post CMP Clean
▷ Ancillary Chemical – Water Reclaim
CUNO Zetaplus 40Q는 물리적인 제거 방식과 전기적인 흡착 방식으로 이물질을 제거하는 필터로서 단일여과(One-Passed)로 고순도 화학케미칼에서 금속이온을 제거하는데 사용되는 대용량 필터입니다.
Media에는 이온 교환 레진이 함유되어 있으며, 다공성의 Depth 구조로 유체와의 접촉시간을 극대화함으로서 보다 효과적인 이온교환이 이뤄집니다. 금속 오염 이물 제거는 ppb의 수준입니다.
◆ BENEFITS
▷ 단일 여과 방식으로 공정 시간 단축
▷ 넓은 표면적으로 교체 주기 연장
▷ 다양한 Size로 연구소에서 현장까지 사용 가능
▷ 오염물질이 용출되지 않음
* Single pass metals removal from PGMEA/PGME (30/70 Mixture)
▷ Resins – Acetone
▷ Solvents – DI Water
▷ Recirculation – IPA
▷ I Line Photoresists – Plating Solution
▷ G Line Photoresists – Post CMP Clean
▷ Ancillary Chemical – Water Reclaim
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